硅烷
硅烷 （SiH4)
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項(xiàng)目名稱
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純度指標(biāo)（%）
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硅烷
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≥99.9999
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雜質(zhì)含量（ppm)
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氬氣（Ar）
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≤0.05
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氯硅烷（Chlorosilane)）
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≤0.15
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乙硅烷（Si2H6))
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≤0.5
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氦氣（He）
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≤1
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一氧化碳（CO）
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≤0.05
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氧氣（O2）
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≤0.05
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氮?dú)猓?/span>N2）
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≤1
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氫氣（H2）
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≤20
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二氧化碳（CO2）
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≤0.05
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甲烷（CH4）
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≤0.05
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碳（C）
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≤0.2
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二氯二氫硅（SiH2Cl2)
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≤0.5
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甲基硅烷（CH3Si)
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≤0.5
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金屬離子（Metals)
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≤0.03
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包裝：采用44L、47L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要，分裝到8L的氣瓶中。
用途：硅的外延生長(zhǎng)、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太陽(yáng)能電池，光導(dǎo)纖維，有色玻璃制造，化學(xué)氣相淀積。
理化性質(zhì): 硅烷在常溫常壓下為具有惡臭的無(wú)色氣體。在溫室下著火，在空氣或鹵素氣體中發(fā)生爆炸性燃燒。即使用其他氣體稀釋，如果濃度不夠低，仍能自燃。硅烷在氬氣中含2%，氮?dú)庵泻?.5%，氫氣中含1%，它仍能著火。硅烷濃度在小于1%時(shí)不燃，大于3%時(shí)自燃，1%～3%時(shí)可能燃燒。
注意事項(xiàng)：使用硅烷的工作場(chǎng)所要通風(fēng)，保持室內(nèi)空氣干燥。硅烷裝置要嚴(yán)格密封，避免和空氣、水分相接觸，為此，用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空，這樣反復(fù)進(jìn)行置換和抽真空，一定要徹底清除系統(tǒng)中的空氣和水分。裝置使用以后，也要用惰性氣體置換清洗系統(tǒng)中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏時(shí)，從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)良好之處，要遠(yuǎn)離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場(chǎng)所要配備足夠的防護(hù)用品及應(yīng)急用品。硅烷無(wú)腐蝕性，可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹(shù)脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤(rùn)滑油、玻璃。凡是可燃性的有機(jī)高分子材料應(yīng)該避免使用。當(dāng)硅烷大量泄漏時(shí)。緊接著就要著火，所以無(wú)法用滅火器滅火。但是可以控制火勢(shì)，使火災(zāi)不向周圍蔓延。燃燒時(shí)輻射熱不太高，所以應(yīng)盡可能去關(guān)閉閥門以止住氣體的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。廢氣可用水或堿吸收，或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專門的過(guò)濾器捕捉。儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃。應(yīng)與易（可）燃物、氧化劑分開(kāi)存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。密閉操作，局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過(guò)專培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過(guò)濾式防毒面具（半面罩）。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
