上海彌正氣體有限公司
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品名 |
濃度 (%) |
平衡氣體 |
壓力(MPa) |
容積(L) |
閥門 |
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硅烷混合氣體 |
0.5-50 |
Ar、N2、He、H2 |
5-12 |
4-47 |
可根據(jù)用戶要求提供 |
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磷烷混合氣體 |
5ppm-23 |
Ar、N2、He、H2 |
5-12 |
0.7-17 |
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硼烷混合氣體 |
5ppm-10 |
Ar、N2、He、H2 |
5-10 |
4-17 |
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砷烷混合氣體 |
5ppm-5 |
Ar、N2、He、H2 |
5-12 |
0.7-17 |
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硒化氫混合 |
10ppm-5 |
Ar、N2、He、H2 |
5-12 |
4-17 |
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乙硅烷 |
5ppm-2 |
Ar、N2、He、H2 |
≥5 |
0.7-17 |
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鍺烷 |
5ppm-0.5 |
Ar、N2、He、H2 |
≥5 |
0.2-17 |
包裝：1-40（升）瓶裝，標準充裝壓力：9.5 MPa，組分和濃度范圍可根據(jù)要求配制。
