品名

濃度 (%)

平衡氣體

壓力(MPa)

容積(L)

閥門(mén)

硅烷混合氣體

0.5-50

Ar、N₂、He、H₂

5-12

4-47

可根據(jù)用戶要求提供

磷烷混合氣體

5ppm-23

Ar、N₂、He、H₂

5-12

0.7-17

硼烷混合氣體

5ppm-10

Ar、N₂、He、H₂

5-10

4-17

砷烷混合氣體

5ppm-5

Ar、N₂、He、H₂

5-12

0.7-17

硒化氫混合

10ppm-5

Ar、N₂、He、H₂

5-12

4-17

乙硅烷

5ppm-2

Ar、N₂、He、H₂

≥5

0.7-17

鍺烷

5ppm-0.5

Ar、N₂、He、H₂

≥5

0.2-17