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六氟乙烷 （C2F6)
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項目名稱 |
純度指標（%） |
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六氟乙烷 |
≥99.999 |
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雜質含量（ppm) |
一氧化碳（CO） |
≤0.5 |
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二氧化碳（CO2） |
≤0.5 |
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水（H2O） |
≤1.5 |
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酸度（以HF計） |
≤0.1 |
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氮氣（N2） |
≤8 |
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氧氣（O2） |
≤2 |
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其他有機物（Other Organics） |
≤0.1 |
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包裝：采用40L、44L鋼瓶充裝，也可根據客戶需要分裝到2L-8L的氣瓶中。
用途： 用作絕緣氣、等離子蝕刻劑，高介電強度冷卻劑。
理化性質: 無色、無氣味、非易燃的氣體，在24.3℃以上時不能保持液態，分子量 138.0,沸 點 -78℃,熔 點 -101℃,微溶于水,穩定。
注意事項：
一、泄漏應急處理：戴自給式呼吸器，穿工作服。切斷氣源。抽排(室內)或強力通風(室外)。漏氣容器不能再用，且要經過技術處理以清除可能剩下的氣體。
二、防護措施：
呼吸系統防護：空氣中濃度較高時，應該佩戴防毒面具。緊急事態搶救或撤離時，建議佩戴自給式呼吸器。
眼睛防護：一般不需要特殊防護。
身體防護：穿工作服。
手防護：一般不需要特殊防護。
其它：避免高濃度吸入。
三、急救措施
吸入：脫離現場至空氣新鮮處。呼吸困難給輸氧。呼吸停止時，立即進行人工呼吸。就醫。
滅火方法：切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。霧狀水。
